Интерферометры лазерные INF100QPS-LS

Назначение

Интерферометры лазерные 1NF100QPS-LS (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей. В случае применения в качестве рабочего эталона 4-го разряда в соответствии с Государственной поверочной схемой для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей, утвержденной приказом Росстандарта №3189 от 15.12.2022, могут использоваться для поверки и калибровки пластин плоских стеклянных размером до 100 мм.

Описание

Принцип действия интерферометров основан на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления с набором плоской и сферических насадок и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер. Оптикомеханический блок преобразует лазерное излучение и формирует волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной насадки, закрепленной в приборе делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной насадки непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается поверхностью контролируемой детали. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности или сферичности измеряемой оптической поверхности.
Для измерений отклонений от сферичности оптических поверхностей интерферометры могут комплектоваться сферическими насадками (от 1 до 6), отличающимися диапазоном измеряемых радиусов кривизны (таблица 3).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Нанесение знака поверки на интерферометр не предусмотрено. Серийный номер нанесен на табличку печатным методом, расположенную на задней части интерферометра и имеет буквенно-цифровое обозначение, состоящее из арабских цифр и букв латинского алфавита.
Пломбирование интерферометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Место расположения маркировочной таблички
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных INF100QPS-LS