Интерферометр OWI 100 ECO

Назначение

Интерферометр OWI 100 ECO (далее - интерферометр) предназначен для измерений отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей. В случае применения в качестве эталона 4-го разряда в соответствии с ГПС, утвержденной приказом Росстандарта № 3189 от 15.12.2022 используются для поверки и калибровки пластин плоских стеклянных размером до 120 мм.

Описание

Измерение отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления с набором плоской и сферических насадок и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер. Оптикомеханический блок преобразует лазерное излучение и формирует волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной насадки, закрепленной в приборе делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной насадки непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается поверхностью контролируемой детали. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности или сферичности измеряемой оптической поверхности.
Для измерения отклонения формы плоских поверхностей используется плоская насадка (табл. 4), а для измерения отклонения формы сферических поверхностей - набор сферических насадок (табл. 3).
Внешний вид интерферометра приведен на рисунке 1.
Нанесение знака поверки на интерферометр не предусмотрено. Заводской номер нанесен на табличку печатным методом, расположенную на задней части интерферометра и имеет цифровое обозначение.
Пломбирование интерферометра OWI 100 ECO от несанкционированного доступа не предусмотрено.
К интерферометру, относящемуся к данному типу средств измерений, относится интерферометр OWI 100 ECO зав. № 514.012.
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометра OWI 100 ECO