Интерферометры OptoTL-250/300

Назначение

Интерферометры OptoTL-250/300 (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей. В случае применения в качестве эталона 4-го разряда, применяются для поверки мер отклонений от плоскостности размером до 280 мм.

Описание

Принцип работы интерферометров основан на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между эталонной поверхностью сравнения и поверхностью контролируемой детали в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометры состоят из следующих основных блоков: оптико-механического блока, юстировочного стола, для установки измеряемой детали и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
Интерферометры построены по вертикальной схеме интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется лазер с длиной волны 633 нм или 660 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 250 мм или 300 мм.
Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливается таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
В результате один волновой фронт - опорный - формируется при прохождении через эталонную поверхность. Другой - предметный - отражается и искажается поверхностью контролируемой детали. Он возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. При этом образуется интерференционная картина.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины методом Фурье с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.
Внешний вид интерферометра приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид интерферометров
Рисунок 2 - Вид таблички с заводским номером
Нанесение знака поверки на интерферометры не предусмотрено. Заводской номер в виде буквенно-цифрового или цифрового обозначения наносится гравированием на маркировочную табличку, которая закрепляется на заднюю часть корпусов интерферометров (рисунок 2).
Пломбирование интерферометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.