Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping

Принцип действия эллипсометра основан на измерении изменений состояния поляризации света, отраженного от границы раздела двух сред. Эллипсометр измеряет эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн. Программное обеспечение (далее - ПО) эллипсометра на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину и показатель преломления оптических покрытий на поверхности измеряемого объекта.

Конструктивно эллипсометр состоит из блока поляризатора с источником света, гониометра с фиксированным углом падения света на образец, моторизованного стола для образцов диаметром до 300 мм с автоматическим перемещением по осям X, Y, Z и автоматической фокусировкой по Z, и блока анализатора отраженного от образца света. Неотъемлемой частью эллипсометра является вычислительный модуль на базе персонального компьютера со специализированным ПО для проведения измерений, сбора и анализа полученных данных.

Эллипсометр снабжен вертикальной камерой для визуализации области измерения и выравнивания образца при помощи механизма наклона предметного стола. В состав эллипсометра входят две фокусирующие микронасадки для уменьшения размера светового пятна на образце.

К данному типу средства измерений относится эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping с заводским номером 1010130058.

Заводской номер, содержащий цифровое обозначение, и знак утверждения типа нанесён на шильдик методом цифровой лазерной печати на пластиковую пленку и наклеен на заднюю панель эллипсометра.

Пломбирование эллипсометра не предусмотрено. Общий вид эллипсометра с обозначением места нанесения знака поверки, заводского номера и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 1.

Место нанесения заводского номера и знака утверждения типа

Место нанесения знака поверки

Рисунок 1 - Общий вид эллипсометра настольного спектрального SEI-Mapping